詳細介紹
Roban-Waveguide系列飛秒激光光波導專用直寫系統參數
光源 飛秒激光放大器(1030 nm/515 nm, 1-200 kHz) | 加工材料 石英玻璃及鈮酸鋰等透明硬質材料 | XY軸重復定位精度 ±50 nm |
最高掃描速度 100 mm/s | 三維加工范圍 100 mm (L) × 100 mm (W) × 60 mm (H) | Z軸重復定位精度 ±100 nm |
加工數據格式 基于器件參數的自動化生成/用戶自編AeroBasic腳本 | 系統外形尺寸 600 mm (L) × 500 mm (W) × 800 mm (H) | 電氣要求 200-240 VAC, 50/60 Hz, 5 kW |
應用案例

1. 激光誘導材料折射率變化直寫光波導

2. 加載SLM相位圖控制加工波導截面形狀

3. 單模波導,環形波導,波導陣列及能量分布

4. 光子集成芯片
References
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Yu F, Wang L C, Chen Y, et al. Polarization independent quantum devices with ultra-low birefringence glass waveguides[J]. Journal of Lightwave Technology, 2021, 39(5): 1451-1457.
Crespi A, Osellame R, Ramponi R, et al. Anderson localization of entangled photons in an integrated quantum walk[J]. Nature Photonics, 2013, 7(4): 322-328.
關鍵詞:
Roban系列
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