Roban-GT系列超高精度紫外飛秒激光高速加工系統配置紫外飛秒激光放大器作為加工光源。該系統以高速掃描振鏡耦合4f光學系統通過物鏡在物鏡掃描視場內進行高速高精度加工。同時，該系統利用二維高精度空氣軸承直線電機位移平臺進行大尺寸連續微納結構的激光掃描及在全行程內對掃描范圍受限的振鏡掃描進行耦合，使得激光超精密加工中高速與大范圍兩個需求同時得以滿足。該系統適用于厘米級以上加工范圍和納米級加工精度的跨尺度結構制造。
系統主要特性
超高精度加工（特征尺寸小于100nm）
跨尺度結構制造
材料廣泛適用
機器視覺
系統硬件、加工流程及加工參數自動化控制
詳細介紹
Roban-GT系列超高精度紫外飛秒激光高速加工系統指標
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光源 飛秒激光放大器（343 nm，1-200 kHz），可選配 |
加工材料 透明介質材料、半導體材料、金屬、聚合物等 |
XY軸重復定位精度 ±50 nm |
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最高掃描速度 200 mm/s |
三維加工范圍 100 mm (L)×100 mm (W)×60 mm (H) |
Z軸重復定位精度 ±100 nm |
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加工文件格式 支持位圖，DXF及STL等CAD文件格式轉換 |
系統外形尺寸 800 mm (L)×600 mm (W)×600 mm (H) |
電氣要求 200~240 V AC，50/60 Hz，5 kW |
應用案例
1. 熔融石英表面刻劃
2.玻璃表面精密去除
3.薄膜表面超精細刻線
關鍵詞:
Roban系列
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