詳細介紹
Roban-Nano系列飛秒激光通用微納加工系統參數
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光源 飛秒激光放大器（1030 nm/515 nm/343 nm) |
加工材料 透明介質材料、半導體材料、金屬、聚合物等 |
XY軸重復定位精度 ±50 nm至±5 μm |
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最高掃描速度 0.1 - 200 mm/s |
三維加工范圍 100 mm (L) × 100 mm (W) × 60 mm (H) |
Z軸重復定位精度 ±100 nm至±5 μm |
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加工數據格式 支持位圖，DXF及STL等CAD文件格式轉換 |
系統外形尺寸 800 mm (L) × 600 mm (W) × 800 mm (H) |
電氣要求 200-240 VAC, 50/60 Hz, 5 kW |
應用案例
1. 飛秒激光材料表面微納結構刻寫
2. 透明材料內部飛秒激光改變材料折射率加工
3. 二維材料飛秒激光修飾加工
References
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Wang L, Chen Q D, Cao X W, et al. Plasmonic nano-printing: large-area nanoscale energy deposition for efficient surface texturing[J]. Light: Science & Applications, 2017, 6(12): e17112-e17112.
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Tian Z N, Hua J G, Yu F, et al. Aplanatic zone plate embedded in sapphire[J]. IEEE Photonics Technology Letters, 2017, 30(6): 509-512.
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Zhang Y L, Chen Q D, Xia H, et al. Designable 3D nanofabrication by femtosecond laser direct writing[J]. Nano Today, 2010, 5(5): 435-448.
關鍵詞:
Roban系列
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