飛秒激光光波導專用直寫系統

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所屬分類：

激光加工系統

Roban系列

Roban-Waveguide系列飛秒激光光波導專用直寫系統配置高重頻飛秒激光放大器（可選配型號）及高精度大行程氣浮導軌直線電機位移平臺，可將飛秒激光聚焦于透明材料內部直寫光波導及其陣列。適用于高校及科研院所進行集成光學及量子光學等方向應用。
系統主要特性：
1.直寫低傳輸損耗的光波導
2.制備光波導定向耦合器
3.直寫任意截面波導（圓形波導及矩形波導等）
4.可配置空間光調制器（SLM）進行激光焦斑整形
5.機器視覺
6.系統硬件及加工流程自動化控制

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詳細介紹

Roban-Waveguide系列飛秒激光光波導專用直寫系統參數

光源

飛秒激光放大器（1030 nm/515 nm, 1-200 kHz）

加工材料

石英玻璃及鈮酸鋰等透明硬質材料

XY軸重復定位精度

±50 nm

最高掃描速度

100 mm/s

三維加工范圍

100 mm (L) × 100 mm (W) × 60 mm (H)

Z軸重復定位精度

±100 nm

加工數據格式

基于器件參數的自動化生成/用戶自編AeroBasic腳本

系統外形尺寸

600 mm (L) × 500 mm (W) × 800 mm (H)

電氣要求

200-240 VAC, 50/60 Hz, 5 kW

應用案例

1. 激光誘導材料折射率變化直寫光波導

2. 加載SLM相位圖控制加工波導截面形狀

3. 單模波導，環形波導，波導陣列及能量分布

4. 光子集成芯片

References

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