Roban-Drill系列飛秒激光切割鉆孔專用系統(tǒng)配置高重頻飛秒激光放大器(可選配型號(hào)),高速掃描振鏡及高精度直線位移臺(tái)。適用于高校及科研院所進(jìn)行硬脆材料的高速掃描切割,盲孔、通孔及其群控加工,材料表面刻槽等應(yīng)用。
系統(tǒng)主要特性 :
1.非接觸式加工,崩邊小
2.極小的熱影響區(qū)域
3.集成化的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及花崗巖防震平臺(tái),保證系統(tǒng)穩(wěn)定性
4.支持通過CAD文件導(dǎo)入任意二維加工圖形
5.機(jī)器視覺
6.系統(tǒng)硬件及加工流程自動(dòng)化控制
詳細(xì)介紹
Roban-Drill系列飛秒激光切割鉆孔專用系統(tǒng)參數(shù)
|
光源 飛秒激光放大器(1030 nm/515 nm, 1-200 kHz) |
加工材料 藍(lán)寶石,石英,硅片及碳化硅等硬脆材料 |
鉆孔孔徑 20 μm - 20 mm |
|
最高掃描速度 200 mm/s |
樣品厚度 0.1 mm - 3 mm |
定位精度 ±3 μm |
|
加工數(shù)據(jù)格式 DXF及基于加工圖形參數(shù)的自動(dòng)化數(shù)據(jù)生成 |
系統(tǒng)外形尺寸 600 mm (L) × 500 mm (W) × 800 mm (H) |
電氣要求 200 ~ 240 VAC,50/60 Hz,5 kW |
應(yīng)用案例

1. 鍍鋁藍(lán)寶石圓孔及方孔加工

2. 硅片群孔加工
關(guān)鍵詞:
Roban系列