Roban-GT系列超高精度紫外飛秒激光高速加工系統配置紫外飛秒激光放大器作為加工光源。該系統以高速掃描振鏡耦合4f光學系統通過物鏡在物鏡掃描視場內進行高速高精度加工。同時,該系統利用二維高精度空氣軸承直線電機位移平臺進行大尺寸連續微納結構的激光掃描及在全行程內對掃描范圍受限的振鏡掃描進行耦合,使得激光超精密加工中高速與大范圍兩個需求同時得以滿足。該系統適用于厘米級以上加工范圍和納米級加工精度的跨尺度結構制造。
系統主要特性
超高精度加工(特征尺寸小于100nm)
跨尺度結構制造
材料廣泛適用
機器視覺
系統硬件、加工流程及加工參數自動化控制
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Roban-GT系列超高精度紫外飛秒激光高速加工系統配置紫外飛秒激光放大器作為加工光源。該系統以高速掃描振鏡耦合4f光學系統通過物鏡在物鏡掃描視場內進行高速高精度加工。同時,該系統利用二維高精度空氣軸承直線電機位移平臺進行大尺寸連續微納結構的激光掃描及在全行程內對掃描范圍受限的振鏡掃描進行耦合,使得激光超精密加工中高速與大范圍兩個需求同時得以滿足。該系統適用于厘米級以上加工范圍和納米級加工精度的跨尺度結構制造。
系統主要特性
超高精度加工(特征尺寸小于100nm)
跨尺度結構制造
材料廣泛適用
機器視覺
系統硬件、加工流程及加工參數自動化控制
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Roban-Nano系列是開放式的飛秒激光加工系統平臺。可根據用戶需求定制激光加工工藝,并由此配置激光光源、位移平臺及其它系統硬件。
系統主要特性 :
1.深度定制激光加工工藝
2.定制化配置激光光源及位移平臺等系統硬件
3.百納米至微米級加工分辨率
4.高速高精度加工
5.高速的激光輸運及高速的能量控制
6.系統硬件及加工流程自動化控制
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Roban-Drill系列飛秒激光切割鉆孔專用系統配置高重頻飛秒激光放大器(可選配型號),高速掃描振鏡及高精度直線位移臺。適用于高校及科研院所進行硬脆材料的高速掃描切割,盲孔、通孔及其群控加工,材料表面刻槽等應用。
系統主要特性 :
1.非接觸式加工,崩邊小
2.極小的熱影響區域
3.集成化的系統結構及花崗巖防震平臺,保證系統穩定性
4.支持通過CAD文件導入任意二維加工圖形
5.機器視覺
6.系統硬件及加工流程自動化控制
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Roban-Waveguide系列飛秒激光光波導專用直寫系統配置高重頻飛秒激光放大器(可選配型號)及高精度大行程氣浮導軌直線電機位移平臺,可將飛秒激光聚焦于透明材料內部直寫光波導及其陣列。適用于高校及科研院所進行集成光學及量子光學等方向應用。
系統主要特性 :
1.直寫低傳輸損耗的光波導
2.制備光波導定向耦合器
3.直寫任意截面波導(圓形波導及矩形波導等)
4.可配置空間光調制器(SLM)進行激光焦斑整形
5.機器視覺
6.系統硬件及加工流程自動化控制
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新Roban-Waveguide系列飛秒激光光波導專用直寫系統
Roban-Waveguide系列飛秒激光光波導專用直寫系統配置高重頻飛秒激光放大器(可選配型號)及高精度大行程氣浮導軌直線電機位移平臺,可將飛秒激光聚焦于透明材料內部直寫光波導及其陣列。適用于高校及科研院所進行集成光學及量子光學等方向應用。
系統主要特性 :
1.直寫低傳輸損耗的光波導
2.制備光波導定向耦合器
3.直寫任意截面波導(圓形波導及矩形波導等)
4.可配置空間光調制器(SLM)進行激光焦斑整形
5.機器視覺
6.系統硬件及加工流程自動化控制
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Roban-FBG系列飛秒激光光纖光柵專用直寫系統配置高重頻飛秒激光放大器(可選配型號),高精度大行程氣浮導軌直線電機位移平臺以及高數值孔徑油浸物鏡刻寫光纖光柵。適用于高校及科研院所進行光纖傳感、光纖激光器及光通信等方向應用。
系統主要特性 :
1.逐點刻寫光纖光柵
2.精確的透射及反射譜控制
3.超長布拉格光柵及切趾布拉格光柵制備
4.定制化的光纖夾具
5.機器視覺
6.系統硬件及加工流程自動化控制
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